传感器领域的新科技成果通过了国家鉴定

近日，“传感器测试关键共性技术研究”、“光密度连续变化滤光器件”、“SOI压力传感器制造工艺研究” 三项科研项目的科技成果鉴定会议在沈阳召开。专家组对这三项目给予了较高评价，对项目完成的质量给予了充分地肯定，并建议在现有基础上不断地发挥自身优势，进一步推广应用并扩展应用领域。

据悉，“传感器测试关键共性技术研究”为科技部十一五支撑计划项目，“光密度连续变化滤光器件”、“SOI压力传感器制造工艺研究”均为科技部科研院所技术开发研究专项资金项目。“传感器测试关键共性技术研究”项目突破了高性能传感器“试验装置高效高压多波形控制”、“批量检测系统弱信号检测”、“可靠性强化试验”等关键技术，达到了国际先进水平，对推动行业技术进步，增强产品市场竞争力，具有重要作用。“光密度连续变化滤光器件”项目开展了中性渐变薄膜的设计与制造工艺研究，研制出线性度和中性度良好的光密度连续变化滤光器件，线性度、中性度均达到±5%。研制开发的滤光器件，填补了国内空白，并已实现批量生产。“SOI压力传感器制造工艺研究”项目开展了SOI压力传感器制造工艺的研究，建起具有自主技术和知识产权支撑的高温SOI压力传感器制造技术平台，实现耐高温SOI压力传感器批产工艺的稳定性，填补了国内空白，具有广大的应用潜力和发展前景。