汽车电子稳定程序微传感器及系统研究取得阶段性成果

先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序(ESP)微传感器及系统”针对汽车电子应用需求，对MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构进行了优化设计，开发出了基于体硅SOI和圆片级封装工艺的低成本MEMS微陀螺和微加速度计芯片，攻克了数字化陀螺仪电路设计和加速度计ASIC电路设计技术和预成型空腔塑封封装技术，研制出了自主知识产权的ESP用MEMS陀螺仪和加速度计产品。

该课题突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术，采用了PCM监控和SPC控制技术，实现了微传感器关键工艺参数的在线监测，建立了微传感器圆片在片自动测试平台，掌握了MEMS传感器批量化制造技术，MEMS陀螺仪芯片加工成品率达到80%，MEMS加速度计芯片成品率达到90%。研制出基于MEMS陀螺仪和加速度传感器的汽车ESP系统，完成了硬件和算法的初步研究，ESP系统的匹配试验和搭载验证，ESP系统的路试和抗干扰试验。同时，验证了MEMS传感器的性能与可靠性满足了ESP系统的要求。该课题已申请4项发明专利。