日本滨松集团经SWS授权使用MEMS光谱仪技术

摘要：  Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，该公司已授权日本滨松集团(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立叶变换红外光谱仪(FT-IR spectrometer)技术。

关键字：  Si-Ware Systems，  MEMS专利，  滨松集团

Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，该公司已授权日本滨松集团(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立叶变换红外光谱仪(FT-IR spectrometer)技术。

滨松集团是全世界光电元件领域的领导者。该公司上个月发布了此款傅立叶变换红外光谱仪。由SWS开发并授权给滨松集团使用的傅立叶变换红外光谱仪是世界上首个单芯片光谱仪。运用SWS的MEMS专利技术，光谱仪上所有的光学元件被集成在单块芯片上。

“与滨松集团合作，成功地将SWS的创新技术与滨松集团卓越的制造能力及引领市场的产品相结合，”SWS光学MEMS部门经理巴萨姆说，“现在，单芯片光谱仪为便携式光谱测量创造了更多机会，使传统光谱仪体积变小，价格变低。SWS的单芯片光谱仪可以实现在手持设备(如手机)中安装光谱仪。”

该傅立叶变换红外光谱仪包含1 x 1 cm2 见方的MEMS芯片，该芯片包括所有的光学元件。独立的ASIC芯片也由SWS的ASIC部门完成。整个系统还包括一个光电探测器、光纤及软件。目前，系统被集成在一个模块中，该模块通过USB 接口供电，功耗小于150mA，大小为8 x 6 x 3 cm3 ，重量小于100g。所有这些都确保它成为世界上体积最小、功耗最低的光谱仪产品。

“滨松集团通过与SWS 紧密合作将这个创新产品推向市场，” 滨松集团资深执行董事及固态部门总经理山本光荣说，“SWS 的技术不仅能开发单芯片光谱仪，还可以开发更多产品。”

该傅立叶变换红外光谱仪是基于SWS的SiMOST(硅集成微光学系统技术)开发并发布的第一款产品。SiMOST是一个完整平台，该平台利用经过验证的MEMS 元件来创造单片集成光学系统。使用深反应离子刻蚀(DRIE)技术，可在SOI 圆片上设计并制造多个光学MEMS结构，随后对这些结构进行圆片级封装并切割成单芯片光学系统。

基于SiMOST的光学元件由半导体加工技术在单芯片上制造，不需要对准，而分立光学系统必须经由精确对准，导致装配及封装的高成本。

基于SiMOST的单芯片光学解决方案在尺寸、成本、可靠性上优势明显。半导体圆片的生产加工特点极大提高了产能、降低了成本。将所有光学元件集成在一个芯片上可使光学系统更加可靠，更好地避免冲击或振动带来的负面影响。最后，尺寸的大幅度减小创造了新的应用机会，这些应用是以前更大的、分立的光学系统不能实现的。