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[导读]3D IC产业链依制程可概略区分成3大技术主轴,分别是前段(Front-end)、中段(Middle-end)及后段(Backend)。前段制程涵盖芯片前段CMOS制程、晶圆穿孔、绝缘层(Isolation)、铜或钨电镀(Plating),由晶圆厂负责。为了日后

3D IC产业链依制程可概略区分成3大技术主轴,分别是前段(Front-end)、中段(Middle-end)及后段(Backend)。前段制程涵盖芯片前段CMOS制程、晶圆穿孔、绝缘层(Isolation)、铜或钨电镀(Plating),由晶圆厂负责。为了日后芯片堆栈需求,TSV芯片必须经过晶圆研磨薄化(Wafer Thinning)、布线(RDL)、晶圆凸块等制程,称之为中段,可由晶圆厂或封测厂负责。后段则是封装测试制程,包括晶圆切割、芯片堆栈、覆晶、覆晶强化(Underfill)、高分子封模(Molding)、雷射印码等。

在芯片堆栈技术中,有晶圆-晶圆堆栈(Wafer-to-Wafer Stacking)、芯片-晶圆堆栈(Die-to-Wafer Stacking)、芯片-芯片堆栈(Die-to-Die Stacking)等3种。透过薄化TSV芯片堆栈将可充分利用厚度方向优势,实现高传输速度、芯片级微型化封装,满足可携式电子产品轻、薄趋势。(李洵颖)



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