“湿法清洗”一词源自行业早期的预防性维护方式,即拆卸反应腔室并将石英部件浸入酸水冲洗,之后再晾干并重新组装。如今对于需要高精度维护的设备而言,其中唯一涉及“湿”的常用物质便是去离子水湿润过的无绒布,不过“湿法清洗”这个传统称谓却被沿用至今。所以,维护方式被称为“湿法”,但实际上却是“干法”。
全球半导体产业创新晶圆制造设备及服务供应商泛林集团近日宣布,任命汪挺先生为公司副总裁兼泛林集团中国区总裁,全面负责公司在中国大陆地区的运营工作。
任何诊断都离不开信息汇总与分析。相比数字和统计数据,人们总是更擅长通过图形化的信息来分析问题,尤其是当数据呈现的是随着时间的推移而发生变化的问题。
泛林集团首席技术官Rick Gottscho博士接受了行业媒体Semiconductor Engineering (SE)的专访,分享他对于存储和设备微缩,新市场需求,以及由成本、新技术和机器学习应用所推动的生产变革方面的看法。